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红外测温仪

半导体测温仪

半导体测温仪此处特指用于外延生长的专用的,工艺应用成熟的红外测温仪。考虑到晶体生长使用的红外测温仪应用已经普遍,故该分类不再展现类似产品。

用于外延生长的测温仪包括BASF Exactus ,贴牌BASF产品的Photrix系列。 其中BASF的产品在意法半导体、北微、晶盛等公司的外延炉上已经有广泛的应用,Photrix系列产品早已集成在Aixtron G4炉子上。


Aixtron 测温配件

Photrix系列

BASF Exactus系列