温度测量
BASF Exactus
BASF高温计
BASF Exactus®光电高温计测温精度高达1.5℃, 测温重复性0.1℃，非常适用于晶圆的外延生长温度测量。
- 产品概览
- 技术规格
使用短波进行低温测量 (≥ 25 ºC)
精密度高, 分辨率达 0.01 ºC , 测温精度1.5 ºC
测温重复性 0.1 ºC , 温漂不高于 0.1 ºC / 年
测量速度达 1,000 值 / 秒
数字/或模拟输出, 易于集成到控制系统
可同时进行多达8通道的数据采集
硅晶生长
薄膜沉积
激光/感应焊接
玻璃加工
工业加热
主要特点
详细说明
作为拥有30多年历史的贵金属热电偶行业领导者, BASF已将其温度测量技术专长应用于光学温度测量. Exactus® 红外温度传感器取得了技术性突破，在非接触式温度测量中提供了显著的性能优势 .
Exactus光学传感器适用范围广泛.与其他典型的测量技术相比，超灵敏电子技术、精密光学技术以及利用短波长测量低温的能力使得过程控制更加严格、精度更高、整体性能更好.
BASF的原创技术在控制晶圆之间温度和薄膜厚度的均匀性方面具有许多优势. 高度敏感的电子学和先进的光学技术意味着可以用更短波长的探测器来测量辐射能. 这减少了晶圆透射及发射率造成的误差.此外,高速测量和高分辨率确保了控温和噪声抑制的优异性能. 由此提供了更好的晶圆温度监控和生产工艺.
