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温度测量
红外测温仪
红外测温仪或者高温计通过测量物体辐射的红外能量来计算物体的表面温度。
在许多行业,使用非接触测温仪器是一项重要的技能。比如,为了保证产品的一致性,对整个工艺流程进行控温或者对小尺寸工件测试。
我们提供的产品包括用于激光加工等要求高速响应的KLEIBER高温计;用于IC产业薄膜生长的,需要发射率实时修正的BASF Exactus高温计;用于炉膛出口烟温测量的PCS MY 45高温计;用于低温高速测量的SSS-4M系列高温计等等。
为便于用户进行选择,我们暂且分为四大类产品,包括通用测温仪,高速测温仪,便携测温仪,半导体测温仪。
其中通用型测温仪涵括波段位于 0.55-14 μm之间的各类固定式测温仪;
高速测温仪则主要指响应速度在微秒级别的快速测量高温计包括6μs响应,10μs响应,40μs响应响应,80μs响应,180μs响应以及300μs响应的产品;
便携式测温仪主要为波段3.9 μm以下的手持式高温计,有单色高温计和双色高温计,有通用波段的高温计也有特殊波段的高温计;
半导体行业应用较多的是晶体生长阶段,主要是Si探测器和铟镓砷探测器,包含双色和单色的。由于应用已经极为广泛,这里不再单独分类。此处半导体高温计主要指外延生长工艺中所使用的被大量集成在MOCVD、MBE设备上的应用成熟的高温计如: BASF Exactus高温计,在北微和晶盛以及意法取得了广泛应用.