温度测量
Photrix-光管型
Photrix高温计
单晶蓝宝石用作光学镜头，又称光导管，可以最大程度地发挥Photrix在侵蚀性的化学环境非接触测温的性能。该配置常用于真空处理室和反应器中。
- 产品概览
- 技术规格
30 至 670 °C ，波长 700-1650 nm
70 至 110 °C ，波长 1550 nm
210 至 1300 °C ，波长 900 nm
220 至 1300 °C ，波长 880
快速响应 (1ms)
测量精度 +/- 1.5 °C 或读数 0.15% of reading
重复精度 0.01 °C (see TN-828)
半导体
CIGS太阳能薄膜电沉积
非晶硅薄膜沉积
CZ 晶体生长
详细说明
PhotriX 系列高精度红外测温仪具有业界最佳的信噪比. 能够以无与伦比的精度测量较低的温度，以控制高价值工艺和研究应用. 采用蓝宝石光棒(所谓的 “光管”) 作为镜头收集来自目标的红外辐射. 光管镜头的优点是可提供较低的温度测量值，并易于集成到通常用于高级材料沉积（生长）和蚀刻（去除）工艺的真空反应器中.
光管型 Photrix 提供 4 种响应波长，具有以下特点:
低温测试能力 (详见下表)
选配件包括模拟模块 ( 4-20 mA 或 0-10V), 带镜头吹扫的保护套, 8通道模块。标准配置已包含所有必要的电缆，电源以及软件和文档.
典型应用
配置选项
| 温度范围 | ||||||
| Celsius | Fahrenheit | |||||
| P/N号 | 响应 波长 | 直径2mm 光管镜头 | Min (°C) | Max (°C) | Min (°F) | Max (°F) |
| ML-GAPX-LP2-XXX | 700-1650 nm | XXX mm length | 30 | 670 | 86 | 1238 |
| ML-GAPX-LP2-XXX-SS-YYY | 700-1650 nm | XXX mm length, 蓝宝石护套 YYY mm length | 30 | 670 | 86 | 1238 |
| ML-GAPX-LP2-XXX-SQ-YYY | 700-1650 nm | XXX mm length, 石英护套 YYY mm length | 30 | 670 | 86 | 1238 |
| ML-AAPX/088-LP2-XXX | 880 nm | XXX mm length | 220 | 1300 | 428 | 2372 |
| ML-AAPX/088-LP2-XXX-SS-YYY | 880 nm | XXX mm length, 蓝宝石护套 YYY mm length | 220 | 1300 | 428 | 2372 |
| ML-AAPX/088-LP2-XXX-SQ-YYY | 880 nm | XXX mm length, 石英护套 YYY mm length | 220 | 1300 | 428 | 2372 |
| ML-AAPX/090-LP2-XXX | 900 nm | XXX mm length | 210 | 1300 | 410 | 2372 |
| ML-AAPX/090-LP2-XXX-SS-YYY | 900 nm | XXX mm length, 蓝宝石护套 YYY mm length | 210 | 1300 | 410 | 2372 |
| ML-AAPX/090-LP2-XXX-SQ-YYY | 900 nm | XXX mm length, 石英护套 YYY mm length | 210 | 1300 | 410 | 2372 |
| ML-GAPX/155-LP2-XXX | 1550 nm | XXX mm length | 70 | 1100 | 158 | 2012 |
| ML-GAPX/155-LP2-XXX-SS-YYY-Y | 1550 nm | XXX mm length, 蓝宝石护套 YYY mm length | 70 | 1100 | 158 | 2012 |
| ML-GAPX/155-LP2-XXX-SQ-YYY | 1550 nm | XXX mm length, 石英护套 YYY mm length | 70 | 1100 | 158 | 2012 |
