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温度测量

Aixtron MOCVD测温系统

用于Aixtron G3和G4设备的非接触测温系统.

    Aixtron MOCVD测温系统由BASF按照Luxtron的要求为Aixtron Mocvd设备订制的Phorix特别型号，工作波长1550nm，测温范围100-1700℃，通常由四部分组成，包括：型号00-14265-01的温度传感器套件，型号00-14366-01的模拟模块，型号00-14266-01的柔性光纤以及型号00-14089-01的光导管。