温度测量
BASF Exactus®系列红外测温仪在外延设备、高温退火炉、高温氧化炉等半导体设备上有着广泛的应用，意法半导体，AIXTRON、北方微电子，浙江晶盛机电都是BASF公司的客户。
BASF Exactus®系列红外测温仪根据镜头的不同有PY、FP、LP、FL、。其中PY、FP为通用的镜头，LP、FL为光管。
BASF Exactus®系列红外测温仪测温精度±1.5℃或0.15%，重复精度达到0.1℃。其传感器EI110（单色测温）或者ED110（双色测温）可探测的光电流范围为10-15 ~ 10-3 A, 具有极高的信噪比，可测量的温度范围下限可至25℃，上限可超4000℃；
BASF Exactus®系列EI110传感器包括硅Si探测器，InGaAs探测器，以及其用于测量硅晶圆的专利探测器，共涉及8个波段。用户可根据应用及温度范围进行订制。
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EX-S-3FP
BASF Exactus® EX-S-3FP高温计主要用于类LPE公司SIC外延设备的控温系统,常见测温范围130-2200℃，精度高达1.5℃, 重复性0.1℃。 -
EX-C-7FL
BASF Exactus® EX-C-7FL红外测温仪测温范围覆盖100-1800℃，精度高达1.5℃, 重复性0.1℃。适配AIXTON G3, AIXTRON G4， AIXTRON G5的MOCVD的Bottom测温系统。 -
EX-S-2PY
BASF Exactus® EX-S-2PY红外测温仪主要用于硅晶圆的外延生长研究，也常被用作高温黑体炉的标准器，其测温精度高达1.5℃, 重复性0.1℃。 -
EX-S-7PY
BASF Exactus® EX-S-7PY红外测温仪主要用于SIC或其他晶圆的高温氧化、退火及RTP工艺，常用测温范围250-2600℃，精度高达1.5℃, 重复性0.1℃。 -
EX-S-DPY
BASF Exactus® EX-S-DPY双色红外测温仪测温范围覆盖380-3000℃，精度高达1.5℃, 重复性0.1℃。该型号测温仪采用双色测温原理，温度测量在很大程度上不受物体的发射率的影响.