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半导体测温仪

BASF Exactus®系列红外测温仪在外延设备、高温退火炉、高温氧化炉等半导体设备上有着广泛的应用,意法半导体,AIXTRON、北方微电子,浙江晶盛机电都是BASF公司的客户。

BASF Exactus®系列红外测温仪根据镜头的不同有PY、FP、LP、FL、。其中PY、FP为通用的镜头,LP、FL为光管。

BASF Exactus®系列红外测温仪测温精度±1.5℃或0.15%,重复精度达到0.1℃。其传感器EI110(单色测温)或者ED110(双色测温)可探测的光电流范围为10-15 ~ 10-3 A, 具有极高的信噪比,可测量的温度范围下限可至25℃,上限可超4000℃;

BASF Exactus®系列EI110传感器包括硅Si探测器,InGaAs探测器,以及其用于测量硅晶圆的专利探测器,共涉及8个波段。用户可根据应用及温度范围进行订制。