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Aixtron MOCVD 红外测温系统

Aixtron G3和G4设备上采用了光导管红外测温系统，工作波段1550nm，温度范围100-1700℃。系统由光导管，光纤，传感器，数字模块、模拟模块等备件构成。

Aixtron MOCVD测温系统
用于Aixtron G3和G4设备的非接触测温系统.