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高新技术

原子层沉积测温

原子层沉积技术是40多年前发明的。近年来,它被视为半导体制造业先进节点中的关键技术之一。

问题

通常,如果衬底温度太低,则半反应可能不完全。如果衬底温度高,则可能发生脱附或分解。为了准确实现方案设定的温度点,需要精心配置测温仪表。

方案

提供两种解决方案。一种是基于荧光技术的光纤温度监控解决方案。 该解决方案使用不受等离子体干扰的光纤探头,温度范围 -100 °C 至 +330 °C. 另一个是光纤辐射高温计,通常用于50 °C 以上的温度范围,但可以处理非常高的温度。


客户获益

  • 提高产量

  • 更好的质量

  • 可在等离子增强系统环境工作