高新技术
问题
通常，如果衬底温度太低，则半反应可能不完全。如果衬底温度高，则可能发生脱附或分解。为了准确实现方案设定的温度点，需要精心配置测温仪表。
方案
提供两种解决方案。一种是基于荧光技术的光纤温度监控解决方案。 该解决方案使用不受等离子体干扰的光纤探头，温度范围 -100 °C 至 +330 °C. 另一个是光纤辐射高温计，通常用于50 °C 以上的温度范围，但可以处理非常高的温度。
客户获益
提高产量
更好的质量
可在等离子增强系统环境工作
