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高新技术

单晶硅生长测温

单晶硅通常用于IC行业和太阳能行业。 在太阳能工业中,单晶晶片的效率要高于多晶晶片的效率。
直拉法(CZ)工艺已成为单晶硅生产的标准。

问题

在自动切克劳斯基工艺中,准确测量熔体温度并保证良好的重复性是保籽晶熔接自动化的重要条件。为了进行温度反馈控制,还应以较高的精度测量石墨加热器的温度。

方案

提供以下方案:

  • 熔化液面温度测量: 熔体温度的测量:根据客户的熔炉/观察孔设计,我们精心设计/选择的光学器件可最大程度地减少杂散辐射效应。

  • 加热器温度测量: 可实现精确控温。

客户获益

  • 提升产量

  • 更优的质量